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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转结构、调节结构及套筒结构；旋转结构穿设于套筒结构并用于连接工具，旋转结构能够带动工具转动；调节结构环绕旋转结构布置并设置于套筒结构远离工具的一侧，调节结构用于多方向调节旋转结构的位置以带动工具改变位置。其中，调节结构具备多个方向上的调节自由度，以微调旋转结构的位置，进而补偿因机械结构、装配条件等因素引起的误差，确保工具处于合适的作业位置。
主权项：1.一种旋转臂，其特征在于，包括旋转结构100、调节结构200及套筒结构300；所述旋转结构100穿设于所述套筒结构300并用于连接工具400，所述旋转结构100能够带动所述工具400转动；所述调节结构200环绕所述旋转结构100布置并设置于所述套筒结构300远离所述工具400的一侧，所述调节结构200用于多方向调节所述旋转结构100的位置以带动所述工具400改变位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 旋转臂及半导体检测设备
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