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申请/专利权人：AP系统股份有限公司
摘要：本发明提供一种快速热处理装置和快速热处理方法。所述快速热处理装置包括：衬底支撑件，被配置成支撑衬底；光源，被设置成面向衬底支撑件并被配置成朝向支撑在衬底支撑件上的衬底供应光能；以及控制器，被配置成通过控制输入到光源的功率来将衬底的温度从第一温度升高到高于第一温度的第二温度，以便对衬底实行尖峰热处理。控制器被配置成在介于第一温度与第二温度之间的切换温度下切换输入到光源的功率，在切换温度下，输入到光源的功率增大或保持且然后减小。
主权项：1.一种快速热处理装置，包括：衬底支撑件，被配置成支撑衬底；光源，被设置成面向所述衬底支撑件并被配置成朝向支撑在所述衬底支撑件上的所述衬底供应光能；以及控制器，被配置成通过控制输入到所述光源的功率来将所述衬底的温度从第一温度升高到高于所述第一温度的第二温度，以便对所述衬底实行尖峰热处理，其中所述控制器被配置成在介于所述第一温度与所述第二温度之间的切换温度下切换输入到所述光源的所述功率，在所述切换温度下，输入到所述光源的所述功率增大或保持且然后减小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： AP系统股份有限公司 快速热处理装置和快速热处理方法
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