龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：日荣半导体(上海)有限公司
摘要：本发明公开了半导体加工技术领域的一种能够直接应用在光刻机版库内的光刻版保存盒，包括下层底盒，所述下层底盒上部滑动连接有上滑盖，所述下层底盒两侧开设有滑槽，所述上滑盖内部两侧固定连接有滑块，所述滑块在滑槽内滑动，所述上滑盖的一端转动连接有活动轴，所述活动轴固定连接有前开门，所述下层底盒内部固定连接有定位角件，所述下层底盒内部固定连接有软垫。发明提供了抽屉式的光刻版运输盒，不但能够完成运输保存的目的，还能直接用于装载到光刻机上使用，低成本、结构轻巧的实现了光刻版闲置存放及上机均为同一块包装盒，一盒两用，避免了人工频繁的转移操作，避免引入颗粒灰尘甚至沾污、损坏光刻版的风险，提高了光刻版的使用环境。
主权项：1.一种能够直接应用在光刻机版库内的光刻版保存盒，包括下层底盒1其特征在于：所述下层底盒1上部滑动连接有上滑盖2，所述下层底盒1两侧开设有滑槽3，所述上滑盖2内部两侧固定连接有滑块4，所述滑块4在滑槽3内滑动，所述上滑盖2的一端转动连接有活动轴5，所述活动轴5固定连接有前开门6，所述下层底盒1内部固定连接有定位角件7，所述下层底盒1内部固定连接有软垫8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日荣半导体(上海)有限公司 一种能够直接应用在光刻机版库内的光刻版保存盒
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号