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申请/专利权人:天津大学
摘要:本发明公开了一种灵敏度可调的压力传感器阵列,其包括一个由8×8个传感像素单元组成的传感器阵列。每个传感像素单元包括上电极、中间介质层和下电极,其中中间介质层由离子凝胶壳和PDMS弹性体基座组成。上电极采用导电银浆PI膜电极,下电极采用喷涂银纳米线的方法,PDMS弹性体基座由PDMS预聚体和固化剂混合固化而成,通过调节PDMS弹性体基座模量和离子凝胶壳的双电层效应,实现传感单元的灵敏度可调。通过测试发现,该压力传感器具有较宽的灵敏度可调范围以及较高的最大灵敏度,并且具有良好的动态响应能力和重复性。同时,该传感器可以通过调节PDMS质量比来数字化控制调节传感器的灵敏度,且能够在同一个传感器阵列中集成四种不同灵敏度的传感单元,有望在电子皮肤等领域得到广泛应用。
主权项:1.一种灵敏度可调的柔性压力传感阵列,其特征在于,由上电极、中间介质层和下电极组成的传感像素单元,其中中间介质层由离子凝胶壳和PDMS弹性体基座嵌套而成,且通过调节PDMS弹性体基座的模量来实现传感单元的灵敏度可调。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 天津大学 一种灵敏度可调的柔性压力传感阵列
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