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申请/专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
摘要：本发明涉及晶体材料加工设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅籽晶一体化加工设备，包括：加工台架，所述加工台架上设置有多组用于辅助加工的移动件准备机构，所述准备机构设置在加工台架上且与用于对单晶硅进行加工前的固定与处理；加工机构，所述加工机构设置在移动件上且用于对籽晶进行套取，加工机构包括用于对籽晶进行套取的套取件、对籽晶表面进行处理的精制件以及配合套取件与精制件工作的固定件。实现籽晶的高效率提取成型并且减少籽晶的装夹次数，从而解决了籽晶在提取加工过程中所导致的晶向出现倾斜的技术问题。
主权项：1.一种单晶硅籽晶一体化加工设备，其特征在于，包括：加工台架（1），所述加工台架（1）上设置有多组用于辅助加工的移动件（11）；准备机构（2），所述准备机构（2）设置在加工台架（1）上且与用于对单晶硅进行加工前的固定与处理；加工机构（3），所述加工机构（3）设置在移动件（11）上且用于对籽晶进行套取，加工机构（3）包括用于对籽晶进行套取的套取件（31）、对籽晶表面进行处理的精制件（32）以及配合套取件（31）与精制件（32）工作的固定件（33）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江中晶新材料研究有限公司 一种单晶硅籽晶一体化加工设备
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