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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明实施例公开一种分区域曝光方法及系统。在一具体实施方式中，该方法包括：将待曝光的目标图形分解为第一图形区域和第二图形区域；利用空间光调制器输出所述第一图形区域的数字掩模图案，并对所述第一图形区域实施第一曝光剂量；利用空间光调制器输出所述第二图形区域的数字掩模图案，并对所述第二图形区域实施第二曝光剂量。该实施方式通过对不同区域实施不同的曝光剂量即可优化目标图形的一致性转移工艺，适用于具有窄间隙的目标结构和复杂图形的一致性曝光工艺。
主权项：1.一种分区域曝光方法，其特征在于，该方法包括将待曝光的目标图形分解为第一图形区域和第二图形区域；利用空间光调制器输出所述第一图形区域的数字掩模图案，并对所述第一图形区域实施第一曝光剂量；利用空间光调制器输出所述第二图形区域的数字掩模图案，并对所述第二图形区域实施第二曝光剂量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 一种分区域曝光方法及系统
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