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申请/专利权人：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
摘要：一种全自动洗净刻蚀设备，包括洗净槽、混液气管、放置托架、驱动装置和控制电路，洗净槽内存放一定量的刻蚀液，驱动装置受控制电路控制和移动放置托架使得放置托架上放置需洗净刻蚀硅产品后可移动到洗净槽内进行洗净刻蚀，混液气管位于洗净槽底部，混液气管设有朝下的气孔，混液气管受阀门控制可在洗净刻蚀硅产品进入洗净槽后通入氮气。氮气可以在刻蚀液内形成大量气泡，气泡在液体压力作用下迅速上升，在氮气气泡上升时刻蚀液可以快速流动，在气泡的作用下刻蚀液可以充分混合，刻蚀液如同沸腾的液体一般快速流动，使得各部分液体浓度比较均匀，加快对非硅材料的去除，从而提高表面的清洁度，采用自动化的驱动装置和控制电路可以实现远程操控或全自动化的洗净刻蚀，提高操作人员的安全性。
主权项：1.一种全自动洗净刻蚀设备，其特征在于：包括洗净槽（1）、混液气管（2）、放置托架（3）、驱动装置和控制电路，所述洗净槽（1）内存放一定量的刻蚀液，所述驱动装置受所述控制电路控制和移动所述放置托架（3）使得所述放置托架（3）上放置需洗净刻蚀产品后可移动到所述洗净槽（1）内进行洗净刻蚀，所述混液气管（2）位于所述洗净槽（1）底部，所述混液气管（2）设有气孔（21），所述混液气管（2）受阀门（29）控制可在需要混合或搅拌刻蚀液时通入一定压强的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江盾源聚芯半导体科技有限公司 一种全自动洗净刻蚀设备
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