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申请/专利权人：徐州联超光电科技有限公司
摘要：本发明提出了一种耐强碱洗净的镀膜，包括玻璃基板，所述玻璃基板上依次设有二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅、镧系材料镀层、二氧化硅、镧系材料镀层，其镀膜方法包括：S1:提供玻璃基材；S2：将镀膜溅射机抽真空至5.00*10‑3PA；S3：材料预融，在腔体内固定三组阴极靶材，取固体五氧化三钛通过设置设备电流强度为440MA预融加热至液体，取固体粉末形态的镧系材料配合二氧化钛靶和五氧化二钽，本发明采用了离子源成膜工艺使用TI3O5SIO2进行成膜，同时加入适量的镧系材料进行加工成膜，其成膜结构为柱状，制密性更佳。并且镀膜工艺通过调整氧气和氩气的比例能够保证薄膜强度以及薄膜的密度，提高抗酸碱性。
主权项：1.一种耐强碱洗净镀膜的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：S1:提供玻璃基材；S2：将镀膜溅射机抽真空至5.00*10-3Pa；S3：材料预融，在腔体内固定三组阴极靶材，取固体五氧化三钛通过设置设备电流强度为440MA预融加热至液体，取固体粉末形态的镧系材料配合二氧化钛靶和五氧化二钽，通过设置设备电流强度为480MA预融加热至液态，使镧系材料混合有钛元素和钽元素，各自降温后形成固体阴极靶，二氧化硅作为第三组阴极靶；S4：材料蒸镀，后注入氧气和氩气，氧气和氩气的比例为1:3~5；通过溅射设备将氩气电离，离子轰击阴极靶材，先后按照二氧化硅、五氧化三钛、二氧化硅、五氧化三钛、二氧化硅、五氧化三钛、二氧化硅、镧系材料镀层、二氧化硅、镧系材料镀层的顺序溅射，得到的五氧化三钛镀膜厚度为450nm，使用电流为：420MA，速率为3.5Åsec，二氧化硅镀膜厚度为418nm，电流：180MA，速率8.0Åsec，镧系材料混合物镀膜厚度为53nm，电流：460MA，速率2.5Åsec；S5：进行保压30分；S6：进行泄气作业；S7：耐碱性洗净测量光谱检查包装流后程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 徐州联超光电科技有限公司 一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法
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