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申请/专利权人：铠侠股份有限公司
摘要：提供一种能够缩短基板的描绘时间的描绘装置。本实施方式的描绘装置具备射束生成部，其生成对基板的描绘区域进行描绘的带电粒子的射束。描绘部对将描绘区域根据图案的密度划分而成的多个划分区域分别照射射束。控制器控制描绘部，使描绘部执行分别用射束照射多个划分区域中的至少一个划分区域的第1照射～第n照射n为2以上的整数，使第1照射～第n照射中的射束的合计照射量成为描绘区域中的射束的必要照射量以上。
主权项：1.一种描绘装置，具备：射束生成部，其生成对基板的描绘区域进行描绘的带电粒子的射束；描绘部，其对将所述描绘区域根据图案的密度划分而成的多个划分区域分别照射所述射束；以及控制器，其控制所述描绘部，使描绘部执行分别用所述射束照射所述多个划分区域中的至少一个划分区域的第1照射～第n照射，使所述第1照射～第n照射中的所述射束的合计照射量成为所述描绘区域中的所述射束的必要照射量以上，其中n为2以上的整数。
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