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申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及门阀清洁技术领域，尤其涉及一种门阀清洁机构及镀膜设备，旨在解决现有技术中拍板阀密封面或密封圈因沾到碎片而产生漏气的技术问题。该门阀清洁机构设置于真空腔室内，并处于门阀下方，包括：清洁毛刷、毛刷支架以及直线驱动组件；清洁毛刷设置于毛刷支架；直线驱动组件与毛刷支架传动连接，以驱动毛刷支架在真空腔室的两相对侧壁之间作直线移动，使清洁毛刷扫过门阀的密封面。该镀膜设备包括门阀清洁机构。采用该门阀清洁机构，可以在不打开腔室的情况下对门阀进行清洁，以将碎片从门阀密封面扫落，使门阀能够关严，节省了门阀清洁时间，保证了生产效率。
主权项：1.一种门阀清洁机构，其特征在于，设置于真空腔室100内，并处于门阀200下方，包括：清洁毛刷、毛刷支架300以及直线驱动组件400；所述清洁毛刷设置于所述毛刷支架300；所述直线驱动组件400与所述毛刷支架300传动连接，以驱动所述毛刷支架300在所述真空腔室100的两相对侧壁之间作直线移动，使所述清洁毛刷扫过所述门阀200的密封面。
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权利要求：
百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 门阀清洁机构及镀膜设备
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