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申请/专利权人：无锡互创芯微半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种带有温控的静电吸盘，属于静电吸盘技术领域，包括静电吸盘主体，所述静电吸盘主体的内部设置有温控机构，所述温控机构包括固定在静电吸盘主体内壁的若干个电动推杆，所述电动推杆的活塞杆端部固定安装有安装板，所述安装板的下表面固定安装有加热板，所述静电吸盘主体的左右两侧面分别开设有进风口和排风口，所述静电吸盘主体左右两侧面正对进风口和排风口的位置处均插设有滤尘网；通过设置温控机构，利用电动推杆配合安装板和加热板使用，多个温控机构单独控制，可以根据实际使用需要选择合适的加温区域，且可以通过电动推杆的伸缩实现加热板的位置调节，且配合导热铜板可以快速传导热量，提升使用便捷度。
主权项：1.一种带有温控的静电吸盘，其特征在于：包括静电吸盘主体1，所述静电吸盘主体1的内部设置有温控机构2，所述温控机构2包括固定在静电吸盘主体1内壁的若干个电动推杆3，所述电动推杆3的活塞杆端部固定安装有安装板4，所述安装板4的下表面固定安装有加热板5，所述静电吸盘主体1的左右两侧面分别开设有进风口和排风口，所述静电吸盘主体1左右两侧面正对进风口和排风口的位置处均插设有滤尘网7，所述静电吸盘主体1侧面螺纹安装有若干个固定螺栓8，所述滤尘网7侧面开设有若干个供固定螺栓8拧入的固定螺纹槽，且排风口的内壁固定安装有散热扇9，且进风口的内壁设置有清理机构10，所述清理机构10包括活动设置在进风口内的滑动板11以及可拆卸安装在滑动板11侧面的清洁刷12，所述清洁刷12与进风口内的滤尘网7配合使用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡互创芯微半导体科技有限公司 一种带有温控的静电吸盘
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