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申请/专利权人：上海科弗新材料科技有限公司
摘要：本发明公开的高温钎焊工具用涂层的CVD制备方法及应用，其中制备方法包括如下步骤：A：预处理：去除具有高温钎焊的金刚石镀层的工具件表面油污，再对除去油污后的工具件进行脱水处理；B：反应腔处理：将工具件放置于反应腔内，对反应腔室连续抽真空后,再次通入适量反应气，所述反应气至少为原料气与载气的混合物；C：镀膜处理，至少执行一次如下工序：调节真空室的真空度为10～50Pa，处理过程中真空室的温度为800～1000℃，镀膜时间为30～90min；D：后处理：停止加热并缓慢降温至室温，向反应腔室内进行充气、抽真空至少一轮，再通入空气至一个大气压即可。本发明方案的CVD涂层技术有效地改善了高温钎焊工艺所造成的金刚石颗粒结合强度低的问题，具有良好的推广应用性。
主权项：1.一种高温钎焊工具用涂层的CVD制备方法，其特征在于，包括如下步骤：A：预处理：去除具有高温钎焊的金刚石镀层的工具件表面油污，再对除去油污后的工具件进行脱水处理；B：反应腔处理：将工具件放置于反应腔内，对反应腔室连续抽真空后,再次通入适量反应气，所述反应气至少为原料气与载气的混合物，所述原料气选自：气态Ti化合物、气态Ta化合物，所述载气选自C1-C6饱和烃；C：镀膜处理，至少执行一次如下工序：调节真空室的真空度为10～50Pa,，处理过程中真空室的温度为800～1000℃，镀膜时间为30～90min；D：后处理：停止加热并缓慢降温至室温，向反应腔室内进行充气、抽真空至少一轮，再通入空气至一个大气压即可。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科弗新材料科技有限公司 高温钎焊工具用涂层的CVD制备方法及应用
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