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申请/专利权人：上海光导通信设备有限公司
摘要：本发明公开了一种新型大口径CVD炉，包括炉体和石英管，石英管两端各套设有一安装法兰；安装法兰通过承托调节装置支撑于工作平台上；该装置包括承托弧板、丝杆、旋转螺母、圆筒支柱、上连接板和下连接板；承托弧板与丝杆固定连接，丝杆与旋转螺母螺纹连接；旋转螺母套设于圆筒支柱上；圆筒支柱与上连接板固定连接；下连接板与工作平台之间通过第一导轨滑台机构连接，下连接板和上连接板之间通过第二导轨滑台机构连接；实现上连接板的纵向、横向位移。本发明的新型大口径CVD炉，具有一套独特的承托调节机构，能灵活精确可靠地进行位置调节、能稳定地承托大质量的安装法兰，以满足大口径CVD炉安装过程中的要求。
主权项：1.一种新型大口径CVD炉，包括炉体和石英管，其特征在于：所述石英管穿过炉体、两端伸出炉体，所述石英管的两端各套设有一安装法兰；所述安装法兰通过承托调节装置支撑于工作平台上；所述的承托调节装置包括：承托弧板、丝杆、旋转螺母、圆筒支柱、上连接板和下连接板；所述承托弧板匹配承托于所述安装法兰的下弧面，所述承托弧板与丝杆上端固定连接，所述丝杆与旋转螺母螺纹连接；所述旋转螺母可旋转地、并且轴向限位地套设在所述圆筒支柱的顶端，所述丝杆的下端插入所述圆筒支柱内；所述圆筒支柱的下端与所述上连接板固定连接；所述下连接板与工作平台之间通过第一导轨滑台机构连接，所述下连接板和上连接板之间通过第二导轨滑台机构连接；所述第一、第二导轨滑台机构其中之一实现所述上连接板的纵向位移、另一个实现所述上连接板的横向位移，所述纵向为所述石英管的轴向方向。
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权利要求：
百度查询： 上海光导通信设备有限公司 一种新型大口径CVD炉
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