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申请/专利权人：苏州涌真光电科技有限公司

摘要：本发明公开了具有叠加升降装置的CVD镀膜机，包括：机架，所述机架具有一控制室、一加工室，并通过电连接；烘箱升降机构，设置于所述加工室内，所述烘箱升降机构位于所述加工室内做上下运动，并通过钟罩升降机构限制运动行程；钟罩升降机构，位于所述烘箱升降机构的下方，所述钟罩升降机构的运动行程最高点低于所述烘箱升降机构的最高点，且当所述钟罩升降机构提升高度高于所述烘箱升降机构运动行程最低点时，抵接所述烘箱升降机构；加工机构，设置于所述钟罩升降机构的内部，且所述加工机构的控制组件与工作组件通过隔离件分隔；真空泵机构，位于所述机架的外侧，并连接于所述加工机构的工作组件。

主权项：1.具有叠加升降装置的CVD镀膜机，其特征在于，包括：机架，所述机架具有一控制室、一加工室，并通过电连接；所述加工室通过一底板、一隔板分隔出第一工作腔、第二工作腔和第三工作腔；所述第一工作腔和所述第二工作腔处于同一竖直线上；所述第三工作腔位于所述第一工作腔和所述第二工作腔的一侧；烘箱升降机构，设置于所述加工室内，所述烘箱升降机构位于所述加工室内做上下运动，并通过钟罩升降机构限制运动行程；设置于所述第一工作腔内的所述烘箱升降机构包括：两个相平行的直线导轨、固设于所述直线导轨上的第一滑动板、设置于机架顶部的动力件和连接于动力件的丝杆；所述丝杆平行于所述直线导轨，并连接于所述第一滑动板上，使所述动力件通过丝杆带动第一滑动板位于所述直线导轨上上下运动；所述第一滑动板上固设有烘箱；钟罩升降机构，位于所述烘箱升降机构的下方，所述钟罩升降机构的运动行程最高点低于所述烘箱升降机构的最高点，且当所述钟罩升降机构提升高度高于所述烘箱升降机构运动行程最低点时，抵接所述烘箱升降机构；设置于所述烘箱升降机构下方的钟罩升降机构包括：滑道、通过滑块连接于所述滑道上的托板；所述滑道固设于所述机架的内部后侧面上，且所述滑道的内部设置有螺杆，并位于螺杆的外侧覆盖有盖板；所述盖板穿过于所述滑块，且所述滑块连接于所述螺杆上，当所述螺杆旋转时，滑块位于所述盖板上滑动；所述托板的中心设置有环形支撑件，并通过设置垫板抱紧所述环形支撑件；所述环形支撑件上设置有钟罩；加工机构，设置于所述钟罩升降机构的内部，且所述加工机构的控制组件与工作组件通过隔离件分隔；所述加工机构包括固设于所述底板上的钟罩底板、设置于所述钟罩底板上方的支撑部、位于所述支撑部上方的料架、设置于所述支撑部一侧的热偶组件和处理管件；所述支撑部、热偶组件、处理管件相互平行，且所述支撑部上设置有若干层保温片；所述保温片的两侧设置有用于嵌合热偶组件和处理管件的缺口；位于所述钟罩底板上支撑部的周围均匀分布有接气孔；所述钟罩底板的下方中心设置有竖管；真空泵机构，位于所述机架的外侧，并连接于所述加工机构的工作组件。

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