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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种对基板照射光来进行图案的描绘的描绘装置，目的在于，容易进行描绘头的维护。由第二头支承部62支承的第二描绘头组402和由第一头支承部61支承的第一描绘头组401在扫描方向上邻接地配置。第二描绘头组402向在X方向上与第一描绘头组401不同的位置照射调制后的光。在描绘装置1中，通过使第二头支承部62相对于第一头支承部61在扫描方向上相对地移动，从而第二描绘头组402在扫描方向上与第一描绘头组401邻接的描绘位置和在扫描方向上比该描绘位置远离第一描绘头组401的退避位置之间移动。由此，能够容易进行第一描绘头41以及第二描绘头42的维护。
主权项：1.一种描绘装置，对基板照射光来进行图案的描绘，其中，具有：载物台，保持所述基板；第一描绘头组，向所述基板的上表面照射调制后的光；第一头支承部，将所述第一描绘头组支承在所述载物台的上方；扫描机构，在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上，使所述载物台相对于所述第一描绘头组相对地移动；第二描绘头组，在所述扫描方向上与所述第一描绘头组邻接地配置，向所述基板的所述上表面上的在与所述扫描方向垂直的宽度方向上与所述第一描绘头组不同的位置照射调制后的光；以及第二头支承部，将所述第二描绘头组支承在所述载物台的上方，通过使所述第二头支承部相对于所述第一头支承部在所述扫描方向上相对地移动，所述第二描绘头组在描绘位置和退避位置之间移动，所述描绘位置是在所述扫描方向上与所述第一描绘头组邻接的位置，所述退避位置是在所述扫描方向上比所述描绘位置远离所述第一描绘头组的位置。
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