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申请/专利权人：广东光栅数显技术有限公司
摘要：本发明涉及一种单晶元四场接收器，包括底PCB板、表PCB板、硅光晶片和灌封胶，底PCB板上安装表PCB板、硅光晶片，表PCB板为方框形，硅光晶片位于表PCB板内，表PCB板内填充灌封胶，灌封胶覆盖硅光晶片，硅光晶片中部设有4个呈2行2列排列的光刻栅片，灌封胶覆盖保护硅光晶片，具有防水、防尘、防震的保护作用，而硅光晶片中部设有4个呈2行2列排列的光刻栅片，光刻栅片一次性成型精密度高，为最终检测位移量提供稳定的信号源，而且组装工艺简单可大批量生产，提高产能。
主权项：1.一种单晶元四场接收器生产工艺，其特征在于：包括以下步骤，①选材，选取尺寸大小合适的硅光晶片，硅光晶片表面涂覆有光刻胶；②曝光，将预制在掩模版上的与光刻栅片相配的图形初步转印到光刻胶上；③显影，溶解光刻胶中非曝光部分的图形使光刻栅片图形初步显示出来；④定影，按步骤③显影出的图形一次性定型出呈2行2列排列的光刻栅片，上行与下行光刻栅片的行距为300μm，左列与右列光刻栅片的列距为315μm，在完成定影后，对硅光晶片进行精度测量，若发现有缺陷则修补后再清洗；若无缺陷则直接清洗，之后将硅光晶片、表PCB板贴装到底PCB板上，表PCB板为方框形，硅光晶片位于表PCB板内，表PCB板内填充灌封胶，灌封胶覆盖硅光晶片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东光栅数显技术有限公司 一种单晶元四场接收器及其生产工艺
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