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申请/专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体级石英的制备技术领域，具体涉及一种高纯度合成石英砂的制备方法，具体技术方案如下，水解，在惰性气体氛围中，以盐酸为酸性催化剂，醇和高纯水为溶剂，在加热的条件下，将多聚硅氧烷水解；制备溶胶，在加热的条件下，向水解体系中加入高纯水，形成溶胶；制备凝胶，向溶胶中加入碱性催化剂，静置，获得凝胶；凝胶老化，在加热的条件下，向凝胶中加入硅源和醇，对凝胶进行老化；制备合成石英砂，对老化的凝胶进行干燥、破碎、煅烧，获得所述合成石英砂。本发明基于两步法的溶胶‑凝胶过程中有机硅源、高纯水和乙醇的水解和缩聚过程获得凝胶，同时使用酸、碱催化剂缩短合成周期，最后通过高温焙烧制备高纯合成石英。
主权项：1.一种高纯度合成石英砂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：水解，在惰性气体氛围中，以盐酸为酸性催化剂，醇和高纯水为溶剂，在加热的条件下，将多聚硅氧烷水解；制备溶胶，在加热的条件下，向水解体系中加入高纯水，形成溶胶；制备凝胶，向溶胶中加入碱性催化剂，静置，获得凝胶；凝胶老化，在加热的条件下，向凝胶中加入硅源和醇，对凝胶进行老化，其中硅源和醇的摩尔比为（0.05~0.15）：（1~8）；制备合成石英砂，对老化的凝胶进行干燥、破碎、煅烧，获得所述合成石英砂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 一种高纯度合成石英砂的制备方法
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