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申请/专利权人：苏州芯澈半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种用于自由曲面三维重构和表层缺陷检测的装置，包括机架，机架的底部连接有三维运动组件，三维运动组件上连接有随其同步移动且安装产品的旋转组件，机架的外侧连接有用于拍摄产品底部的第一相机组件，机架的上方左侧连接有用于拍摄产品上盖曲面的第二相机组件，机架的上方左侧连接有用于拍摄产品上盖曲面的第三相机组件，机架的侧边连接有用于拍摄产品周面的第四相机组件，机架的上方连接有用于采集产品上盖曲面的点位信息的第一光谱共焦传感器组件，机架的侧边连接有用于采集产品上R角处的点位信息的第一光谱共焦传感器组件。本发明不仅能够对碳化硅晶锭进行表层缺陷检测，并可视化呈现，能够提高生产效率，降低生产成本。
主权项：1.一种用于自由曲面三维重构和表层缺陷检测的装置，其特征在于：包括机架10，所述机架10的底部连接有三维运动组件20，所述三维运动组件20上连接有随其同步移动且安装产品的旋转组件30，所述机架10的外侧连接有用于拍摄产品底部的第一相机组件40，所述机架10的上方左侧连接有用于拍摄产品上盖曲面的第二相机组件50，所述机架10的上方左侧连接有用于拍摄产品上盖曲面的第三相机组件60，所述机架10的侧边连接有用于拍摄产品周面的第四相机组件70，所述机架10的上方连接有用于采集产品上盖曲面的点位信息的第一光谱共焦传感器组件80，所述机架10的侧边连接有用于采集产品上R角处的点位信息的第一光谱共焦传感器组件90。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯澈半导体科技有限公司 一种用于自由曲面三维重构和表层缺陷检测的装置
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