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申请/专利权人：华芯拓远(天津)科技有限公司

摘要：本发明公开了品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计及其补偿调节方法，该加速度计用于检测导航设备的加速度，该加速度计由衬底层和器件层构成；所述器件层包括：隔振组合梁结构、至少两个可动质量块、正负检测电级单元和至少两组阻尼调节单元；该方法适用于上述的品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计；本发明通过创造性的在MEMS加速度计敏感单元中设计阻尼调节单元，使其可以根据工艺实际键合真空度的大小或分散偏差，去调节阻尼调节模块梳齿的间隙，从而调整MEMS加速度计敏感单元内部结构阻尼大小，使器件整体的等效Q值不因工艺键合的技术缺陷而发生改变，以达到补偿工艺缺陷，保证器件设计指标之目的，进而提高MEMS加速度计在高精度领域的应用。

主权项：1.品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计，该加速度计用于检测导航设备的加速度，其特征在于：该加速度计由衬底层（1）和器件层（2）构成；其中，器件层（2）位于衬底层（1）上方，并通过相应的锚定固定安装衬底层（1）上；所述器件层（2）包括：隔振组合梁结构（201），其用于对外界环境振动和温变因数，进行隔离和抑制作用；至少两个可动质量块（202），其安装在隔振组合梁结构（201）上；正负检测电级单元（203），其安装在隔振组合梁结构（201）上；至少两组阻尼调节单元（204），用于自补偿式调节加速度计的品质因数Q值；所述阻尼调节单元（204）安装在隔振组合梁结构（201）上；其中，两个可动质量块（202）均与正负检测电级单元（203）相连，当外界有加速度输入时，可动质量块（202）发生位移，将在正检测电极、负检测电极间产生差动电容，并在外围电路的控制下，完成对加速度的全差分检测；所述隔振组合梁结构（201）包括：至少四组外环折叠梁（2011），每组所述外环折叠梁（2011）分别位于衬底层（1）的四边上，且每组外环折叠梁（2011）中间部通过环外锚点（2012）固定在衬底层（1）上；内外连接类矩形环（2013），所述内外连接类矩形环（2013）的四边分别与对应的外环折叠梁（2011）的中间部相连；至少两组双端固支梁（2014），每组双端固支梁（2014）关于该加速度计的X轴左右对称；且每组双端固支梁（2014）分别与对应的内外连接类矩形环（2013）的边框相连；至少两组环内折叠梁（2015），两组所述环内折叠梁（2015）并排位于该加速度计的中心处；每组所述环内折叠梁（2015）靠近该加速度计的中心处的一端通过环内折叠梁固定锚点（2016）固定在衬底层（1）上；其中，每个可动质量块（202）的一端与对应的双端固支梁（2014）相连，另一端与对应的环内折叠梁（2015）相连，使可动质量块悬浮于衬底层（1）上，实现可动质量块能够在敏感方向自由运动，以加强对外界加速度的灵敏度。

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