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申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成于振动支撑层上方；压电层，形成于第一电极层上方，压电层具有凹槽，凹槽在厚度方向上延伸穿透压电层，凹槽将MEMS结构分割成中间区域和外围区域；第二电极层，形成在压电层的中间区域和外围区域上方。通过在MEMS结构内设置凹槽，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的灵敏度。另外，本申请还提供了该MEMS结构的形成方法。
主权项：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；第一电极层，形成于所述振动支撑层上方；压电层，形成于所述第一电极层上方，所述压电层具有凹槽，所述凹槽在厚度方向上延伸穿透所述压电层，所述凹槽将所述MEMS结构分割成中间区域和外围区域；第二电极层，形成在所述压电层的所述中间区域和所述外围区域上方；其中，中间区域的各个膜层悬置在空腔上方；外围区域的各个膜层的边缘固支在衬底上方，内侧悬置于空腔上方；中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层输出的电压反号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 一种MEMS结构及其形成方法
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