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申请/专利权人：四川永祥新能源有限公司

摘要：本发明公开了基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，属于多晶硅生产中还原炉钟罩的清洗工艺及设备技术领域，改良型还原炉钟罩清洗系统包括清水箱、烘干装置、三维洗罐装置和废水箱，清水箱包括上方的碱液槽、脱盐水槽、超纯水槽和下方的回水箱，碱液槽、脱盐水槽和超纯水槽的出水口分别通过管线连接增压泵，增压泵通过管线Ⅰ连接过滤器Ⅰ，过滤器Ⅰ连接列管式换热器Ⅰ，列管式换热器Ⅰ连接柱塞泵，柱塞泵连接三维洗罐装置的高压注水软管，以及烘干装置的结构，清水箱与废水箱连接，同时提出基于该系统的清洗方法，清洗液的温度可以提升至120℃左右，可以明显加快原炉内壁附着物反应，节约清洗时间，缩短还原炉的非工作时间。

主权项：1.基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：改良型还原炉钟罩清洗系统包括清水箱、烘干装置（5）、三维洗罐装置（6）和废水箱（7），清水箱包括上方的碱液槽（1）、脱盐水槽（2）、超纯水槽（3）和下方的回水箱（4），碱液槽（1）、脱盐水槽（2）和超纯水槽（3）上均开设有放净口、溢流口、出水口；三个槽中分别安装有液位计（8）；三个槽的侧面或顶部均连接有相应的洗涤液补给管线；回水箱（4）中设有净化机构，碱液槽（1）、脱盐水槽（2）和超纯水槽（3）的出水口分别通过管线连接增压泵（10），增压泵（10）通过管线Ⅰ（11）连接过滤器Ⅰ（12），过滤器Ⅰ（12）通过管线Ⅱ（9）连接列管式换热器Ⅰ（13），列管式换热器Ⅰ（13）的物料出口（13.1）通过管线Ⅲ（14）连接柱塞泵（15），柱塞泵（15）通过管线Ⅳ（16）连接三维洗罐装置（6）的高压注水软管（6.1）；所述烘干装置（5）包括初效过滤机构（5.1）、折纸高效过滤机构（5.2）和带翅片的列管式换热器Ⅱ（5.3），烘干装置（5）通过管线Ⅴ（17）连接三维洗罐装置（6）的进风口（6.2）；所述列管式换热器Ⅰ（13）和列管式换热器Ⅱ（5.3）的介质出口通过管线连接清水箱的回水箱（4）；碱液槽（1）、脱盐水槽（2）、超纯水槽（3）和回水箱（4）的放净口通过管线连接废水箱（7）的废水进口（7.1），三维洗罐装置（6）的排污口（6.3）通过管线连接废水箱（7）的废水进口（7.1）；清洗方法包括下述步骤：A、碱洗将碱液槽（1）中的碱液从出水口通过管线送至增压泵（10），增压泵（10）与碱液槽（1）中的液位计（8）联锁，碱液经增压泵（10）升压后经管线Ⅰ（11）送至过滤器Ⅰ（12），得到的清液经管线Ⅱ（9）送至列管式换热器Ⅰ（13）中，将碱液升温至50~120℃后再经管线Ⅲ（14）送至柱塞泵（15），柱塞泵（15）与管线Ⅳ（16）上的压力变送器联锁，当管线Ⅳ（16）上压力超出10~18MPa时柱塞泵（15）停止运行，经柱塞泵（15）后的碱液通过管线Ⅳ（16）、高压注水软管（6.1）后用于对还原炉钟罩（23）进行碱洗3~5次，每次洗涤1000~1200s；B、脱盐水洗完成碱洗后，再将脱盐水槽（2）中的脱盐水输送至还原炉钟罩（23）所在的操作平台（27）处对钟罩（23）进行洗涤，脱盐水温度控制为50~120℃，洗涤2~4次，每次洗涤600~800s；C、超纯水洗涤完成脱盐水洗后，再将超纯水槽（3）中的超纯水输送至还原炉钟罩（23）所在的操作平台（27）处对钟罩（23）进行洗涤，脱盐水温度控制为50~120℃，洗涤4~6次，每次洗涤300~500s；D、烘干环境中的空气经烘干装置（5）的初效过滤机构（5.1）、折纸高效过滤机构（5.2）处理后，除去0.1μm及以上颗粒，清洁的气体经列管式换热器Ⅱ（5.3）加热至130℃，再送至三维洗罐装置（6）处对放置在操作平台（27）上的还原炉钟罩（23）进行烘干。

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