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一种用于分子泵的磁轴检测系统及方法 

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申请/专利权人:山东世纪安泰真空设备有限公司

摘要:本发明提供一种用于分子泵的磁轴检测系统及方法,涉及分子泵磁轴检测技术领域,包括工作台、同步机构、主动限位机构和旋转驱动机构;所述同步机构包括固设于所述工作台底部的安装架,所述安装架的底部转动连接有转动板,所述转动板底部的前侧和后侧均转动连接有连杆,所述工作台的内侧横向设置有两个导向杆,两个所述导向杆的两端均滑动连接有滑动座,四个所述滑动座的表面与所述工作台的内侧滑动连接。该方案最终实现对磁轴进行限位过程中,将硬度检测机构和水平检测机构直接调节到工作状态,通过旋转驱动机构带动磁轴进行旋转,对磁轴进行检测,从而有效提高对磁轴的检测效率,并降低检测过程中人工的参与度。

主权项:1.一种用于分子泵的磁轴检测系统,其特征在于,包括工作台、同步机构、主动限位机构和旋转驱动机构;所述同步机构包括固设于所述工作台底部的安装架,所述安装架的底部转动连接有转动板,所述转动板底部的前侧和后侧均转动连接有连杆,所述工作台的内侧横向设置有两个导向杆,两个所述导向杆的两端均滑动连接有滑动座,四个所述滑动座的表面与所述工作台的内侧滑动连接,四个所述滑动座两两一组,且每组所述滑动座的顶部均固设有安装座,每组所述滑动座的底部均固设有连接板,两个所述连杆相离的一端分别与两个所述连接板的底部转动连接,所述工作台底部的前侧和后侧均固设有电动伸缩杆,两个所述电动伸缩杆的右端均固设有连接支架,两个所述连接支架的底部与右侧所述连接板的顶部固定连接;所述主动限位机构包括转动连接于所述工作台内侧的转动轴,所述转动轴的顶端固设有转动盘,所述转动盘的内侧滑动连接有三个滑动架,三个所述滑动架的表面滑动连接有导向盘,所述导向盘的底部与所述工作台的顶部固定连接,三个所述滑动架的内侧均转动连接有限位轮,所述转动轴的底端且位于所述工作台的底部固设有驱动齿轮,左侧所述连接板的顶部固设有齿轮板,所述安装架的顶部转动连接有被动齿轮,所述齿轮板与所述被动齿轮啮合,所述被动齿轮与所述驱动齿轮啮合;两个所述安装座相对的一侧均固设有两个转动架,四个所述转动架的内侧均转动连接有驱动轮,四个所述转动架的顶部均设置有驱动所述驱动轮转动的驱动电机。

全文数据:

权利要求:

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