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申请/专利权人：易栅光电(杭州)有限公司
摘要：本发明涉及电光调制器技术领域，具体涉及的是一种基于薄膜电光材料异质集成平台的电光调制器以及相应的制备方法，这种电光调制器，包括基底晶圆基板、电光材料薄膜，光波导内嵌于电光材料薄膜中，电光材料薄膜通过键合层键合于基底晶圆基板上，然后在电光材料薄膜上布置共面带状线传输线。这种电光调制器与传统体材料调制器相比，通过降低电光材料的厚度，有效防止高频下的漏模现象，提高了带宽，提高了调制效率；与传统薄膜调制器相比，良品率较高，成本较低。
主权项：1.一种基于薄膜电光材料异质集成平台的电光调制器，其特征在于：包括：基底晶圆基板，作为基础，用于承载电光材料薄膜及其他载体；电光材料薄膜，具有第一侧面和第二侧面，在其第一侧面的一侧内嵌有光波导，且其第一侧面面向基底晶圆基板布置，并与布置于基底晶圆基板上的键合层接触；电光材料薄膜的厚度满足射频信号速度与光群速度匹配以实现相对较低的插入损耗；光波导，于电光材料薄膜的第一侧面内嵌于电光材料薄膜中；键合层，作为电光材料薄膜和基底晶圆基板连接的媒介，用于将电光材料薄膜键合于基底晶圆基板上；共面波导传输线，布置于电光材料薄膜的第二侧面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易栅光电(杭州)有限公司 基于薄膜电光材料异质集成平台的电光调制器及制备方法
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