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申请/专利权人：赛光半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆载片平台，涉及加工台技术领域，包括螺钉、圆柱固定销、固定板、晶圆放置板一以及锁紧板，所述锁紧板的数量为两个，且呈上下分布，所述固定板的数量为两个，且呈左右分布，两个所述固定板分别位于锁紧板的两侧，所述固定板位于锁紧板之间的一侧设置有若干晶圆放置板一，晶圆放置板一、锁紧板、晶圆放置板二通过螺钉与固定板进行锁紧，通过圆柱固定销与固定板进行精准定位，确保了每层晶圆放置板一、晶圆放置板二的安装位置平行且一致，也确保了同一列的晶圆放置板一、晶圆放置板二之间的间距一致，如此确保了晶圆手臂在通过时不会有任何偏差，也不会使晶圆发生任何磕碰而导致的破碎和损坏情况的发生。
主权项：1.晶圆载片平台，包括螺钉1、圆柱固定销2、固定板3、晶圆放置板一4以及锁紧板5，其特征在于：所述锁紧板5的数量为两个，且呈上下分布，所述固定板3的数量为两个，且呈左右分布，两个所述固定板3分别位于锁紧板5的两侧，所述固定板3位于锁紧板5之间的一侧设置有若干晶圆放置板一4，所述固定板3位于锁紧板5之间的另一侧设置有若干晶圆放置板二6，所述固定板3的外侧分别贯穿插设有若干螺钉1和圆柱固定销2，所述晶圆放置板一4和晶圆放置板二6的前后两端均开凿有梯形倒边槽8，所述晶圆放置板一4和晶圆放置板二6相互靠近一端的顶部均开凿有弧形倒边槽7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛光半导体科技(苏州)有限公司 晶圆载片平台
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