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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明提供了一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，属于半导体制造装备技术领域，包括：下底座、第一滑移结构、第二滑移结构、第一直线电机、第二直线电机以及两个微动台，且微动台与第一滑移结构中的第一滑块、第二滑移结构中的第二滑块相连，其中，通过第一直线电机带动微动台沿X轴方向移动，第二直线电机带动微动台沿Y轴方向移动，通过微动台能够抵消第一直线电机、第二直线电机在运行过程中所产生的相应误差。本发明实现了X轴方向和Y轴方向的运动误差解耦，避免误差累加，提高位置调节的精准性，而且实现了多工位下晶圆能够同步曝光和校准，提高了工作效率，且具有扩展性。
主权项：1.一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，其特征在于，包括：下底座，并在下底座上设置有多条正交的第一条形凹槽和第二条形凹槽，且第一条形凹槽沿X轴方向设置，第二条形凹槽沿Y轴方向设置，其中，第一条形凹槽的槽底所在的平面与第二条形凹槽的槽底所在的平面存在高度差；第一滑移结构，包括沿第一条形凹槽的长度方向并在第一条形凹槽的槽底铺设连接第一滑轨，并在第一滑轨上滑移连接有第一滑块；第二滑移结构，包括沿第二条形凹槽的长度方向并在第二条形凹槽的槽底铺设连接第二滑轨，并在第二滑轨上滑移连接有第二滑块；粗调驱动组件，包括第一直线电机和第二直线电机，且第一直线电机包括连接于第一条形凹槽槽壁上的第一直线电机定子，和连接于第一滑块上的第一直线电机动子，第二直线电机包括连接于第二条形凹槽槽壁上的第二直线电机定子，和连接于第二滑块上的第二直线电机动子；至少两个微动台，与第一滑块和第二滑块对应相连，且微动台包括底板、微调驱动组件以及载台，该微调驱动组件夹持在底板与载台之间，其中，微调驱动组件的边缘与底板相连，微调驱动组件的中部与载台相连，且其中一个微动台作为晶圆的曝光位置，另一个微动台作为晶圆的上下料和校准位置。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种具有多工位的光刻机工件台交换装置
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