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一种激光光斑分析仪的校准方法与校准装置 

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申请/专利权人:吕梁学院

摘要:本发明提出一种激光光斑分析仪的校准方法与校准装置,属于激光仪器计量技术领域。方法包括步骤S1:处于第一位置的待校准激光光斑分析仪发射第一激光光束;S2:处于第二位置的准直器接收第一激光光束并将其发射到处于第三位置的平面反光镜;S3:平面反光镜将第一激光光束反射至处于第四位置的光轴标定板;S4:在光轴标定板上标定第一激光光束的第一反射位置;S5:将待校准激光光斑分析仪与光轴标定板进行位置对调,并进行位置标定;S6:重复执行一次步骤S1‑S4,获得在光轴标定板上标定的第一激光光束的第二反射位置;S7:通过第二反射位置与所述第一反射位置的误差,对激光光斑分析仪进行校准。

主权项:1.一种激光光斑分析仪的校准方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:S1:处于第一位置的待校准激光光斑分析仪发射第一激光光束;S2:处于第二位置的准直器接收所述第一激光光束并将其发射到处于第三位置的平面反光镜;S3:所述平面反光镜将所述第一激光光束反射至处于第四位置的光轴标定板;S4:在所述光轴标定板上标定所述第一激光光束的第一反射位置;S5:将所述待校准激光光斑分析仪与所述光轴标定板进行位置对调,并进行位置标定;S6:重复执行一次步骤S1-S4,获得在所述光轴标定板上标定的所述第一激光光束的第二反射位置;S7:通过所述第二反射位置与所述第一反射位置的误差,对所述激光光斑分析仪进行校准。

全文数据:

权利要求:

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