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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：提供了一种滤波器装置，该滤波器装置包括基板和附接到该基板的压电板。导体图案638a、638b、738a、738b形成在压电板的第一表面上，并且包括串联谐振器和并联谐振器的叉指换能器，每个叉指换能器在悬置板的相应振膜处具有交错指状物。第一介电涂层612、712形成在IDT的交错指状物上方以及压电板的第一表面上；以及第二介电涂层614、714形成在压电板的与第一表面相对的第二表面上。并联谐振器的第二介电涂层714的厚度tbd7比串联谐振器的至少一个第二介电涂层614的厚度tbd6大。
主权项：1.一种滤波器装置，包括：基板；至少一个压电板，具有相对的第一表面和第二表面，并且附接到所述基板；导体图案，在所述至少一个压电板的第一表面处，并且包括多个谐振器各自的多个叉指换能器IDT，每个叉指换能器在所述至少一个压电板的相应振膜处具有交错指状物，所述振膜悬置在一个或多个空腔上方，其中，所述多个谐振器包括并联谐振器和串联谐振器；至少一个第一介电涂层，在所述IDT的至少交错指状物上方以及所述至少一个压电板的第一表面上；以及至少一个第二介电涂层，在所述至少一个压电板的与所述第一表面相对的第二表面上，其中，所述并联谐振器的所述至少一个第二介电涂层的厚度比所述串联谐振器的所述至少一个第二介电涂层的厚度厚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 使用后侧涂层来调谐声学谐振器
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