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申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

摘要：本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构，解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构，在丝杠驱动机构上连接有滑块（7），滑块（7）与顶升架底板（9）连接，在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架之间设置有硅片（12）。提高托齿的安装精度，提升生产效率。

主权项：1.一种石英舟硅片的顶升机构，包括丝杠支撑架（1）和石英舟安装架（13），丝杠支撑架（1）设置在石英舟安装架（13）的正下方，其特征在于，在丝杠支撑架（1）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠导轨安装板（2），在丝杠导轨安装板（2）上设置有一对丝杠支撑座（4）和滑块导轨（3），在一对丝杠支撑座（4）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠（5），在丝杠支撑架（1）上设置有丝杠驱动电机（6），丝杠驱动电机（6）的输出轴通过联轴器与丝杠（5）连接在一起，在丝杠（5）上设置有丝杠螺母，在丝杠螺母的左侧面上连接有滑块（7），滑块（7）设置在滑块导轨（3）上，在丝杠螺母的右侧面上设置有连接过渡板（8），在连接过渡板（8）上设置顶升架底板（9），在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟（15）下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架（11）依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架（11）之间设置有硅片（12）；梳齿状托架（11）是由托齿底架板（16）、长条状托齿（19）和托齿固定盖板（23）组合而成的，在托齿底架板（16）的前侧面上的中上部沿上下竖直方向等间隔地设置有长条状凹槽（17），在长条状凹槽（17）的顶端设置有开口（27），在长条状凹槽（17）下方的托齿底架板（16）的前侧面上设置有带螺纹的沉孔（18），在长条状托齿（19）的顶端设置有硅片插入U形槽（20），在托齿固定盖板（23）的上部等间隔地设置有固定长条状托齿的顶丝孔（25），在托齿固定盖板（23）的下部设置有连接螺栓穿过通孔（24）；长条状托齿（19）的下端活动插接在托齿底架板（16）上的长条状凹槽（17）中，托齿固定盖板（23）靠接在托齿底架板（16）的前侧面上，连接螺栓从连接螺栓穿过通孔（24）穿过后与托齿底架板（16）的前侧面上设置的带螺纹的沉孔（18）螺接在一起；在长条状托齿（19）的顶端设置的硅片插入U形槽（20）的槽底设置有45度倾斜面（21）；在顶丝孔（25）中设置有顶丝（26）。

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权利要求：

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