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申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种应用于Loadport载台的晶舟放置装置，包括放置板；所述放置板顶面设有与所述晶舟底部卡角数量与位置均适配的第一限位块；所述放置板顶面还设有与所述Loadport载台的在位检测传感器数量与位置均适配的下压装置，用于放置晶舟时，下压Loadport载台的在位检测传感器；所述放置板背面设有与所述Loadport载台的定位凸块数量与位置均适配的定位槽。本实用新型具有结构简单，操作方便，可实现将非FOUP规格的12寸晶舟放置于Loadport载台上等优点。
主权项：1.一种应用于Loadport载台的晶舟放置装置，其特征在于，包括放置板1；所述放置板1顶面设有与所述晶舟底部卡角数量与位置均适配的第一限位块2；所述放置板1顶面还设有与所述Loadport载台的在位检测传感器数量与位置均适配的下压装置4，用于放置晶舟时，下压Loadport载台的在位检测传感器；所述放置板1背面设有与所述Loadport载台的定位凸块数量与位置均适配的定位槽7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司 一种应用于Load port载台的晶舟放置装置
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