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申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种用于SMIFPort的到位传感器安装结构，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的SMIFPort没有设置到位传感器，存在晶圆损坏的风险的技术问题。该用于SMIFPort的到位传感器安装结构包括SMIFPort固定台面、到位传感器以及双转台；SMIFPort固定台面上设置有定位孔，到位传感器发射端和到位传感器接收端分别通过双转台固定在SMIFPort固定台面的两侧，到位传感器发射端的光轴经定位孔到达到位传感器接收端，以使SMIFPort固定台面上的晶圆盒处于到位传感器发射端与到位传感器接收端之间。本实用新型用于提供一种能够有效避免晶圆盒发生碰撞导致晶圆损坏的用于SMIFPort的到位传感器安装结构。
主权项：1.一种用于SMIFPort的到位传感器安装结构，其特征在于，包括SMIFPort固定台面、到位传感器以及双转台；所述SMIFPort固定台面上设置有定位孔，所述到位传感器的发射端和所述到位传感器的接收端分别通过所述双转台固定在所述SMIFPort固定台面的两侧，所述到位传感器的发射端的光轴经所述定位孔到达所述到位传感器的接收端，以使所述SMIFPort固定台面上的晶圆盒处于所述到位传感器发射端与所述到位传感器接收端之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司 一种用于SMIF Port的到位传感器安装结构
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