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申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种应用于Loadport载台的8英寸晶舟放置装置，包括放置板；放置板顶面设有第一限位块、第二限位块，晶舟被限位在第一限位块、第二限位块间；第二限位块前方的放置板顶面设有护罩磁吸；护罩磁吸和第二限位块间的放置板顶面设有护罩开关触发柱；放置板设有护罩架；护罩架顶部铰接护罩；护罩顶壁分别设有金属条和护罩开关触发块；护罩开关触发柱与Loadport载台的护罩开关传感器位置适配；放置板顶面设有与Loadport载台的在位检测传感器数量与位置均适配的下压装置；放置板背面设有与Loadport载台的定位凸块数量与位置均适配的定位槽；放置板右侧设有标签识别传感器。本实用新型具有结构简单，操作方便，可实现将8英寸晶舟放置于Loadport载台上等优点。
主权项：1.一种应用于Loadport载台的8英寸晶舟放置装置，其特征在于，包括放置板1；所述放置板1顶面后部左、右两侧均设有第一限位块2、前部左、右两侧均设有第二限位块3；左、右两侧的所述第一限位块2间距离小于所述晶舟宽度，左、右两侧的所述第二限位块3间距离与所述晶舟宽度适配；所述第二限位块3前方的所述放置板1顶面设有护罩磁吸12；所述护罩磁吸12和所述第二限位块3间的所述放置板1顶面设有护罩开关触发柱14；所述放置板1设有护罩架6；所述护罩架6顶部铰接有护罩7；所述护罩7顶壁分别设有金属条13和护罩开关触发块10，所述护罩7翻转下落后，金属条13和所述护罩磁吸12接触，护罩开关触发块10和所述护罩开关触发柱14接触；所述护罩开关触发柱14与所述Loadport载台的护罩开关传感器位置适配，且可与所述Loadport载台的护罩开关传感器接触；所述放置板1顶面还设有与所述Loadport载台的在位检测传感器数量与位置均适配的下压装置4，用于放置晶舟时，下压Loadport载台的在位检测传感器；所述放置板1背面设有与所述Loadport载台的定位凸块数量与位置均适配的定位槽18；所述放置板1右侧设有标签识别传感器11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司 一种应用于Load port载台的8英寸晶舟放置装置
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