买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：香港科技大学(广州)

摘要：本申请公开了一种科研用全自动涂胶烘烤设备，涉及半导体涂胶烘烤技术领域，包括设备主体、第一载料装置、第二载料装置、机械手装置、匀胶装置、烘烤装置、移液装置、视觉装置以及控制装置：控制装置能够基于视觉装置的定位识别准确控制机械手装置从第一载料装置上抓取小片；再将抓取的小片准确放置到匀胶装置的真空吸附孔位置；之后控制机械手装置与移液装置联动，可以从第二载料装置上吸取光刻胶并准确滴涂至吸附固定的小片上；再之后控制匀胶装置对滴有光刻胶的小片进行匀胶处理；完成匀胶处理后再控制机械手装置从匀胶装置中抓取小片并放置于烘烤装置上；再之后控制烘烤装置进行烘烤；完成烘烤后控制机械手装置将小片放置回第一载料装置中。

主权项：1.一种科研用全自动涂胶烘烤设备，其特征在于，包括设备主体（100）、第一载料装置（200）、第二载料装置（300）、机械手装置（400）、匀胶装置（700）、烘烤装置（600）、移液装置（501）、视觉装置（502）以及控制装置：所述第一载料装置（200）安装于所述设备主体（100）上，用于装载小片（207）；所述第二载料装置（300），其安装于所述设备主体（100）以上，用于装载光刻胶；所述匀胶装置（700）安装于所述设备主体（100）上，用于对滴有光刻胶的小片（207）进行匀胶处理；所述烘烤装置（600）安装于所述设备主体（100）上，用于对匀胶处理后的小片（207）进行烘烤处理；所述机械手装置（400）安装于所述设备主体（100）上，包括机械手本体（402）以及机械手位移驱动装置（401）；所述机械手本体（402）能够抓取小片（207）；所述机械手装置（400）被配置为在所述第一载料装置（200）、所述匀胶装置（700）以及所述烘烤装置（600）之间运送小片（207）；所述移液装置（501）与所述机械手位移驱动装置（401）连接，能够在所述机械手装置（400）的带动下从所述第二载料装置（300）中吸取光刻胶液并滴涂于小片（207）上；所述视觉装置（502）与所述机械手位移驱动装置（401）连接，用于定位目标物体的位置并反馈所述控制装置；所述控制装置与所述机械手装置（400）、所述匀胶装置（700）、所述烘烤装置（600）、所述移液装置（501）以及所述视觉装置（502）电连接；还包括清洁装置（900）；所述清洁装置（900）用于提供无尘纸（902）；所述机械手装置（400）还被配置为能够抓取无尘纸（902）并执行预设清洁擦拭动作；所述清洁装置（900）包括放料机构（908）、牵引机构（904）以及剪裁机构（905）；所述放料机构（908）包括卷筒（901）以及与所述卷筒（901）连接的筒驱动电机（907）；所述卷筒（901）上卷绕有无尘纸（902）；所述牵引机构（904）用于牵拉所述卷筒（901）上的无尘纸（902）并进行释放；所述剪裁机构（905）设置在所述牵引机构（904）出料端的一侧，用于对释放的无尘纸（902）进行剪裁；所述牵引机构（904）包括辊驱动电机（909）以及两个放料辊（903）；两个所述放料辊（903）转动设置并呈上下分布，之间形成牵引输送无尘纸（902）的输送间隙；所述辊驱动电机（909）与至少一个所述放料辊（903）连接，用于带动连接的所述放料辊（903）转动；所述清洁装置（900）还包括酒精喷洒器；所述酒精喷洒器用于对输送经过的无尘纸（902）喷洒酒精；还包括导向辊组（906）；所述酒精喷洒器包括喷洒泵以及支撑台（911）；所述支撑台（911）用于对输送经过的无尘纸（902）形成支撑；所述支撑台（911）内设有喷洒腔，且所述支撑台（911）顶面设有连通所述喷洒腔的喷洒孔（913）；所述喷洒泵与所述喷洒腔连通；所述导向辊组（906）安装于所述支撑台（911）与所述剪裁机构（905）之间，使得输送经过所述支撑台（911）的无尘纸（902）贴着所述支撑台（911）；所述机械手装置（400）还被配置为抓取匀好胶的小片（207）并使得小片（207）的背面与所述支撑台上的无尘纸（902）接触；还包括压纸机构（912）；所述压纸机构（912）设置在所述支撑台（911）一侧，用于将所述支撑台（911）上的无尘纸（902）压紧于支撑台（911）上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 香港科技大学(广州) 一种科研用全自动涂胶烘烤设备