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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于加热衬底处理系统的部件的系统包含控制器和多个加热器，所述多个加热器被设置于沿流体流动路径的多个位置处，所述流体流动路径从流体源至所述衬底处理系统中的目的地。所述控制器被配置成：将所述多个加热器分组为多个加热器群组。每个加热器群组包含所述多个加热器中的至少一者。所述控制器还被配置成：确定待在所述多个加热器群组之间维持的温度梯度。所述控制器还被配置成：从所述多个加热器群组中选择加热器群组；并且控制供应至所选择的所述加热器群组的功率，以在所述多个加热器群组之间维持所述温度梯度。
主权项：1.一种用于加热衬底处理系统的部件的系统，其包含：多个加热器，其被设置于沿流体流动路径的多个位置处，所述流体流动路径从流体源至所述衬底处理系统中的目的地；以及控制器，其被配置成：将所述多个加热器分组为多个加热器群组，每个加热器群组包含所述多个加热器中的至少一者；确定待在所述多个加热器群组之间维持的温度梯度；从所述多个加热器群组中选择加热器群组；并且控制供应至所选择的所述加热器群组的功率，以在所述多个加热器群组之间维持所述温度梯度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 多路复用的基于高TCR的安瓿加热器
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