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申请/专利权人：纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司
摘要：一种电弧蒸发装置，包括阴极弧蒸发源、气体管道、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构。环状凹槽结构限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴。气体管道嵌入阴极弧蒸发源。气体管道的管道出口设置在环状凹槽结构中。第一磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道，并且经配置以产生第一磁场。第二磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕第一磁场装置设置，并且经配置以产生第二磁场。第三磁场装置环绕阴极弧蒸发源、第一磁场装置和第二磁场装置设置，并且经配置以产生第三磁场。第一磁场和第二磁场的磁场方向相反，第一磁场和第三磁场的磁场方向相同。
主权项：1.一种电弧蒸发装置，其特征在于，包括：阴极弧蒸发源，其中所述阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构，所述环状凹槽结构经配置以限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴；气体管道，嵌入所述阴极弧蒸发源，所述气体管道的管道出口设置在所述环状凹槽结构中；第一磁场装置，设置于所述阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道，经配置以产生第一磁场；第二磁场装置，设置于所述阴极弧蒸发源的所述第一侧并环绕所述第一磁场装置设置，经配置以产生第二磁场；以及第三磁场装置，环绕所述阴极弧蒸发源、所述第一磁场装置和所述第二磁场装置设置，经配置以产生第三磁场；其中，所述气体管道包括第一气管和第二气管，所述第一气管的一端连接至外部气体源且另一端笔直地贯穿所述第一磁场装置并垂直延伸至所述阴极弧蒸发源内，所述第二气管水平地在所述阴极弧蒸发源内延伸，所述第二气管的一端连接至所述第一气管且另一端连通所述气体管道的管道出口；其中所述第一磁场和所述第二磁场的磁场方向相反，所述第一磁场和所述第三磁场的磁场方向相同；其中所述气体管道的管道出口开设在所述环状凹槽结构的封闭圆环的内侧壁，并且所述第一磁场和所述第二磁场共同作用下在所述环状凹槽结构中的磁场最大值的位置为所述气体管道的管道出口的设置位置。
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