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申请/专利权人：杭州利珀科技有限公司
摘要：本发明公开一种硅片搭边视觉检测装置及方法。所述硅片搭边视觉检测装置包括：面阵相机。所述面阵相机在拍摄时对位于用于锁紧硅片边角的载板旋钮，所述面阵相机的视场覆盖所述硅片边角和所述载板旋钮，以得到关于所述硅片边角和所述载板旋钮的检测图像。本发明的有益效果在于：通过所述硅片搭边视觉检测装置及方法，能够精准地检测是否硅片搭边以及是否锁紧载板旋钮，进而有效地避免硅片因搭边而导致锁紧碎片以及因未锁紧载板旋钮而导致掉落的情形。
主权项：1.一种硅片搭边视觉检测装置的方法，所述硅片搭边视觉检测装置包括：面阵相机，所述面阵相机在拍摄时对位于用于锁紧硅片边角的载板旋钮，所述面阵相机的视场覆盖所述硅片边角和所述载板旋钮，以得到关于所述硅片边角和所述载板旋钮的检测图像，其特征在于，包括：步骤S1，确定关于所述硅片边角和所述载板旋钮的检测图像；步骤S2，基于所述检测图像，定位所述硅片边角的边角顶点和所述载板旋钮的旋钮中心点；步骤S3，根据所述硅片边角的边角顶点到所述载板旋钮的旋钮中心点的距离，判断是否硅片搭边；步骤S4，基于所述检测图像，定位所述载板旋钮的旋钮特征点，其中，所述旋钮特征点非重合于所述旋钮中心点：所述载板旋钮被设计成多瓣结构，其中的一瓣具有孔，而其余的瓣不具有孔，所述旋钮特征点即具有孔的瓣的顶点；步骤S5，根据所述载板旋钮的所述旋钮特征点与所述旋钮中心点的相对位置关系，判断是否锁紧载板旋钮。
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