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申请/专利权人：朱刚;苏勇刚

摘要：本发明公开了一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法，属于惰性气体净化回收技术领域，能够解决现有处理方式中由于经过加氢除氧工艺而导致安全隐患较大的问题。所述装置包括：第一反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；尾气输送管上设置流量计；空气输出管上设置有调节阀；第一反应器中填装有第一催化剂；第二反应器和第三反应器中均填装有第二催化剂；第一氧分析仪连接在第一反应器的出口处；第二氧分析仪连接在第二反应器的出口处；第一一氧化碳分析仪连接在尾气输送管上；第二一氧化碳分析仪连接在第一反应器的出口处；第三一氧化碳分析仪连接在第三反应器的出口处；控制单元用于调节调节阀的开度。本发明用于单晶炉氩气尾气处理。

主权项：1.一种单晶炉氩气尾气处理装置，其特征在于，所述装置包括：第一氧分析仪、第二氧分析仪、第一一氧化碳分析仪、第二一氧化碳分析仪和第三一氧化碳分析仪，以及依次连通的第一反应器、第二反应器和第三反应器；所述第一反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；所述尾气输送管上设置流量计；所述空气输出管上设置有调节阀；所述第一反应器中填装有第一催化剂；所述第二反应器和所述第三反应器中均填装有第二催化剂；所述第一氧分析仪连接在所述第一反应器的出口处，用于检测所述第一反应器的出口处的氧气含量；所述第二氧分析仪连接在所述第二反应器的出口处，用于检测所述第二反应器的出口处的氧气含量；所述第一一氧化碳分析仪连接在所述尾气输送管上，用于检测所述尾气输送管输送的氩气尾气中的一氧化碳含量；所述第二一氧化碳分析仪连接在所述第一反应器的出口处，用于检测所述第一反应器的出口处的一氧化碳含量；所述第三一氧化碳分析仪连接在所述第三反应器的出口处，用于检测所述第三反应器的出口处的一氧化碳含量；所述装置还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述第一氧分析仪、所述第二氧分析仪、所述第一一氧化碳分析仪、所述第二一氧化碳分析仪和所述第三一氧化碳分析仪的检测结果，控制所述调节阀的开闭或调节所述调节阀的开度；所述控制单元具体用于：当所述第一一氧化碳分析仪检测到所述尾气输送管输送的氩气尾气中的一氧化碳时，和或，所述流量计检测到所述尾气输送管输送的氩气尾气流量时，控制所述调节阀开启或控制所述调节阀的开度增大；当所述第一氧分析仪检测到所述第一反应器的出口处的氧气含量大于或等于第一阈值时，控制所述调节阀的开度减小；当所述第一氧分析仪检测到所述第一反应器的出口处的氧气含量小于所述第一阈值、且所述第二氧分析仪检测到所述第二反应器的出口处的氧气含量小于第二阈值时，控制所述调节阀的开度增大；当所述第二氧分析仪检测到所述第二反应器的出口处的氧气含量大于或等于所述第二阈值时，控制所述调节阀的开度减小；所述第二一氧化碳分析仪检测到所述第一反应器的出口处的一氧化碳含量大于或等于第三阈值时，控制所述调节阀的开度增大；当所述第二一氧化碳分析仪检测到所述第一反应器的出口处的一氧化碳含量小于所述第三阈值、且所述第三一氧化碳分析仪检测到所述第三反应器的出口处的一氧化碳含量小于第四阈值时，控制所述调节阀的开度减小。

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