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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种MOCVD管道加热控制系统，涉及半导体生产设备技术领域，该系统包括：若干个加热组件，每一加热组件均包括加热体与保温体，加热体包裹于MOCVD管道的外围，保温体包裹于加热体的外围，以通过加热体的发热对MOCVD管道进行加热；温控子系统，包括与加热组件数量相对的温度探测器，以及温度调节器与温控处理器，温度探测器设于MOCVD管道内部，并与温控处理器电性连接以用于探测MOCVD管道内部的介质温度，温度调节器与加热体电性连接以用于调节加热体的工作温度；加热体包括：加热编织层、第一表面层与第二表面层，以及导热层。旨在解决现有技术中尾气管道所接收到的热量分布不均匀，管道内部易堵塞，不便于生产过程高效进行的技术问题。
主权项：1.一种MOCVD管道加热控制系统，其特征在于，所述系统包括：若干个加热组件，每一所述加热组件均包括加热体与保温体，所述加热体包裹于MOCVD管道的外围，所述保温体包裹于所述加热体的外围，以通过所述加热体的发热对所述MOCVD管道进行加热；温控子系统，所述温控子系统包括与所述加热组件数量相对的温度探测器，以及温度调节器与温控处理器，所述温度探测器设于所述MOCVD管道内部并与所述温控处理器电性连接以用于探测所述MOCVD管道内部的介质温度，所述温度调节器与所述加热体电性连接以用于调节所述加热体的工作温度；其中，所述加热体包括：具有发热功能的加热编织层；分别覆盖于所述加热编织层相对两面的第一表面层与第二表面层，所述第一表面层与所述第二表面层中的其中一个与所述MOCVD管道的外表面接触，另一个与所述保温体的内表面接触；以及填充于所述第一表面层与所述加热编织层之间、所述第二表面层与所述加热编织层之间的导热层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种MOCVD管道加热控制系统
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