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蚀刻板、使用其制备窗口的方法以及使用其制备的窗口 

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申请/专利权人:三星显示有限公司

摘要:公开了蚀刻板、使用其制备窗口的方法以及使用其制备的窗口。蚀刻板包括与蚀刻板的边缘部分间隔开并且具有第一深度的第一凹版图案部分以及与第一凹版图案部分相邻并且具有比第一凹版图案部分的第一深度大的第二深度的第二凹版图案部分。

主权项:1.一种蚀刻板,包括:第一凹版图案部分,与所述蚀刻板的边缘部分间隔开,所述第一凹版图案部分具有第一深度;以及第二凹版图案部分,与所述第一凹版图案部分相邻,所述第二凹版图案部分具有比所述第一凹版图案部分的所述第一深度大的第二深度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星显示有限公司 蚀刻板、使用其制备窗口的方法以及使用其制备的窗口

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