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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：提供了在衬底上沉积无定形氮化硼层的方法。示例性方法包括向反应室提供硼前体和向反应室提供氮活性物质。
主权项：1.一种用于形成无定形氮化硼层的方法，该方法包括：将非平面衬底安置在反应室内；和通过执行等离子体增强原子层沉积PEALD过程的一个或多个沉积循环在非平面衬底上沉积无定形氮化硼层，其中PEALD过程的单位沉积循环包括：将非平面衬底与包含硼前体的气相反应物接触；并且将非平面衬底与由等离子体产生的一种或多种活性物质接触，等离子体由选自氢气H2、氮气N2、氨气NH3、肼N2H4、烷基肼衍生物及其混合物的气体产生；其中，无定形氮化硼层以大于90％的阶梯覆盖率共形沉积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 用于无定形氮化硼层的方法及相关无定形氮化硼层
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