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申请/专利权人：惠州达诚微电子材料有限公司
摘要：本发明涉及剥离技术领域，公开了一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法。一种光刻胶剥离液添加剂，包括以下质量份的制备原料：醇醚类化合物35～45份；有机胺类化合物35～45份；外加剂10～15份；所述外加剂包括缓蚀剂、表面活性剂和剥离率促进剂。本发明提供的光刻胶剥离液添加剂组分简单，与光刻胶剥离液废液按特定比例混合后得到的可再生光刻胶剥离液除胶效果稳定；可灵活调整添加剂组分，按特定比例复配使用缓蚀剂、表面活性剂和剥离率促进剂，能够快速除胶，保障基板不受损伤。可再生光刻胶剥离液制备方法简单，能够实现光刻胶剥离液废液中有效成分的再利用，降低光刻胶剥离液成本，减少资源浪费且利于环境保护，适于工业实用。
主权项：1.一种光刻胶剥离液添加剂，其特征在于，包括以下质量份的制备原料：醇醚类化合物35～45份；有机胺类化合物35～45份；外加剂10～15份；所述外加剂包括缓蚀剂、表面活性剂和剥离率促进剂。
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权利要求：
百度查询： 惠州达诚微电子材料有限公司 一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法
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