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申请/专利权人：合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司
摘要：本发明涉及半导体划片机技术领域，公开了一种用于划片机的气浮DD马达及工件装夹装置，包括框架模块、固定在框架模块中部的吸盘以及用以驱动吸盘转动的气浮DD马达，所述框架模块上环形均布有若干个膜架压紧组件，所述膜架压紧组件距所述框架模块中心的距离可调；所述马达座与所述吸盘之间设置有所述气膜；所述吸盘上端面负压吸附有工作盘，所述工作盘从下至上能够让气体通过，晶圆膜架能够被夹持固定在所述膜架压紧组件之间，晶圆膜架上固定的工件能够被负压吸附固定在所述工作盘的上端面。本发明，通过使吸盘与马达座之间形成一层气膜，实现悬浮效果，减少摩擦，提高运行效率，有效确保对半导体工件的高精度加工。
主权项：1.一种用于划片机的气浮DD马达，其特征在于，包括马达主体以及固定设置在马达主体上部马达座，所述马达主体的外部设置有马达护罩，所述马达主体的下部设置有马达底座，所述马达护罩与马达座之间连通设置有上推气体通道，所述马达座上设置有负压气体通道，所述上推气体通道与负压气体通道的出气口均设置在所述马达座的上表面，当所述马达主体的输出轴端固定设置有工件装夹装置时，通过向所述上推气体通道与所述负压气体通道分别通入正压与负压气体，使得所述马达座与所述工件装夹装置的端面之间形成一层气膜；所述工件装夹装置包括框架模块以及固定在框架模块中部的吸盘，所述框架模块上环形均布有若干个膜架压紧组件，所述膜架压紧组件距所述框架模块中心的距离可调，所述吸盘上端面负压吸附有工作盘，所述工作盘从下至上能够让气体通过，晶圆膜架能够被夹持固定在所述膜架压紧组件之间，晶圆膜架上固定的工件能够被负压吸附固定在所述工作盘的上端面；所述马达护罩上设置有上推进气通道，所述马达护罩的上端面设置有与上推进气通道连通的气槽，所述马达座上设置有通过连通通道与所述气槽连通的若干个上推槽，所述马达座上布置有负压槽，所述负压槽内均设置有负压孔，所述马达座上沿着径向方向设置有与所述负压孔连通的负压通道，通过向所述上推槽内排出正压气体，所述负压槽内通入负压气体，进而使得所述吸盘与所述马达座之间形成所述气膜。
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