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申请/专利权人：湖北三峡实验室;湖北兴福电子材料股份有限公司;中国科学院过程工程研究所
摘要：本发明提供一种电子级硝酸铈铵结晶提纯方法，硝酸铈铵溶液制备：将硝酸铈铵粗品加入水中，升温溶解得到硝酸铈铵溶液；一级结晶：往硝酸铈铵溶液中加入晶种，搅拌过程中，进行降温结晶，达到最终温度后，恒温养晶；水洗及干燥：结晶结束后，将浆液过滤，洗涤，真空干燥后筛选得到一定粒度的硝酸铈铵晶体；将得到的硝酸铈铵晶体重复结晶2‑3次即可得到电子级硝酸铈铵产品。本发明采用多级冷却结晶对硝酸铈铵进行提纯，避免了现有专利中蒸发结晶脱除溶剂而金属杂质留在晶体内的问题，将含有金属杂质的母液与晶体多次分离，实现所有金属杂质含量小于100ppb，达到SEMI国际标准，获得的高纯电子级产品，可用于集成电路蚀刻液的制备。
主权项：1.电子级硝酸铈铵结晶提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）硝酸铈铵溶液制备：将硝酸铈铵粗品加入水中，升温溶解得到硝酸铈铵溶液；（2）一级结晶：往硝酸铈铵溶液中加入晶种，搅拌过程中，进行降温结晶，达到最终温度后，恒温养晶，降温结晶过程中采用如下降温曲线进行降温结晶，降温曲线方程为 ，降温结晶过程中搅拌转速为300-400rpm，养晶温度为10-20℃，养晶时间为0.5-2h，养晶阶段搅拌转速为100-300rpm，使用晶种的粒径范围为50-100μm，晶种加入量为0.5%-3%；（3）水洗及干燥：结晶结束后，将浆液过滤，洗涤，真空干燥后筛选得到一定粒度的硝酸铈铵晶体；（4）将步骤（3）得到的硝酸铈铵晶体重复步骤（1）-（3）的2-3次即可得到电子级硝酸铈铵产品。
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百度查询： 湖北三峡实验室 湖北兴福电子材料股份有限公司 中国科学院过程工程研究所 电子级硝酸铈铵结晶提纯方法
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