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申请/专利权人：广东腾胜科技创新有限公司

摘要：本发明涉及喷溅镀膜设备技术领域，具体为一种基于金属喷溅机的半导体封装载板连续喷溅镀膜设备，包括传动履带，所述传动履带的内壁滑动连接有第一导杆，所述第一导杆的外壁固定连接有压板，所述第一导杆的外壁套设有第一复位弹簧，所述第一复位弹簧的一端与压板的外壁固定连接。该基于金属喷溅机的半导体封装载板连续喷溅镀膜设备，启动第一传动电机，当未起到夹持作用的靠近凵形框下端的第二导杆和第二滚珠经过此段时，两点之间直线距离最短，而曲线距离更长，此时就会因为波浪轮廓的第二波浪凸起而减缓第二滚珠滑动经过时的速度，起到在经过清洗清洗路段时减速的作用，使清洁更均匀。

主权项：1.一种基于金属喷溅机的半导体封装载板连续喷溅镀膜设备，包括传动履带6，其特征在于：所述传动履带6的内壁滑动连接有第一导杆10，所述第一导杆10的外壁固定连接有压板111，所述第一导杆10的外壁套设有第一复位弹簧11，所述第一复位弹簧11的一端与压板111的外壁固定连接，所述第一复位弹簧11的另一端固定连接有第二固定板12，所述第二固定板12的外壁与传动履带6的外壁固定连接；所述第一导杆10的一端固定连接有凵形框14，所述凵形框14的内壁滑动设置有第二导杆16，所述第二导杆16的外壁套设有第二复位弹簧18，所述第二复位弹簧18的一端与凵形框14的内壁固定连接，所述第二复位弹簧18的另一端固定连接有第一转动盘19，所述第一转动盘19的一端与第二导杆16的一端转动连接，所述凵形框14的内壁转动设置有第二转动盘20，所述第二转动盘20与第一转动盘19配合使用对半导体封装载板21进行夹持；所述传动履带6的内壁转动设置有第一横轴5和第二横轴7，所述第一横轴5和第二横轴7的一端转动连接有第一固定板3，所述第一固定板3的外壁安装有第一传动电机4，所述第一传动电机4的输出端与第一横轴5的一端固定连接；所述第一固定板3的外壁固定连接有连续喷溅镀膜设备主体1，所述连续喷溅镀膜设备主体1的外壁固定连接有固定框201，所述固定框201的外壁固定连接有第一挡片28、第二挡片29、第三挡片30和第四挡片31，所述第一挡片28和第二挡片29之间的空间形成了第一导向滑轨32，所述第三挡片30和第四挡片31之间的空间形成了第二导向滑轨33；所述第二导杆16设置有多个，多个所述第二导杆16的一端均转动设置有第二滚珠17，靠近所述凵形框14上端的第二滚珠17与第一导向滑轨32内滑动连接，靠近所述凵形框14下端的第二滚珠17与第二导向滑轨33内滑动连接；所述第一固定板3的端部轮廓与第一导向滑轨32和第二导向滑轨33的轨迹配套，所述第一导杆10的一端转动设置有第一滚珠9，所述第一滚珠9与第一固定板3的端部滑动连接；所述连续喷溅镀膜设备主体1的内部安装有第一传送带2，所述第一传送带2的外壁固定连接有多个用于输送半导体封装载板21的输送架202；所述第一导向滑轨32的内壁固定有第二上升凸起38，所述第一导向滑轨32的内壁开设有第二下降凹槽37，所述第一导向滑轨32的内壁还开设有第一下降凹槽34；所述第二导向滑轨33的内壁开设有第二下降凹槽37，所述第二导向滑轨33的内壁固定连接有第一上升斜凸起35；所述第一导向滑轨32和第二导向滑轨33均包括有第一下降轨迹311、第二下降轨迹322、第一上升轨迹333、第二上升轨迹344、第三下降轨迹355、第一平行轨迹366、第三上升轨迹377、第二平行轨迹388、第三平行轨迹400、第四平行轨迹411和第五平行轨迹422组成；所述连续喷溅镀膜设备主体1的外壁固定连接有用于清洁半导体封装载板21的清洗池22；所述清洗池22的外壁固定连接有两个第二导电片23，两个所述第二导电片23的外壁固定连接有绝缘导轨232，所述绝缘导轨232的外壁固定连接有第三导电片231，所述凵形框14的外壁固定连接有第一导电片15，两个所述第二导电片23沿清洗池22呈轴对称设置。

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