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申请/专利权人：华南理工大学
摘要：一种含有不同择优取向的氮化铝涂层及制备方法，该制备方法包括以下步骤：将等离子体清洗后的基材送入反应腔中，采用磁控溅射方式在基材的表面上沉积第一择优取向氮化铝涂层；将沉积后的基材送入静放室中，进行冷却至预设温度；将冷却后的基材送入抽真空的过渡腔室内，采用气体离子源轰击第一择优取向氮化铝涂层，以在第一择优取向氮化铝涂层沉积形成非晶氮化铝过渡层；将非晶化后的基材送入反应腔中，采用磁控溅射方式在非晶氮化铝过渡层的表面沉积形成第二择优取向氮化铝涂层。本发明通过采用离子源轰击技术将不同择优取向的氮化铝涂层复合在同一基材上，替换单一的氧化铝涂层，实现性能的复合，以提高CVDMask的力学性能、绝缘阻隔性和耐腐蚀性。
主权项：1.一种含有不同择优取向的氮化铝涂层，成形于基材的表面，其特征在于：包括位于所述基材表面上的第一择优取向氮化铝涂层，位于所述第一择优取向氮化铝涂层表面上的非晶氮化铝过渡层，以及位于所述非晶氮化铝过渡层表面上的第二择优取向氮化铝涂层，所述第二择优取向氮化铝涂层和所述第一择优取向氮化铝涂层的择优取向不相同，其中，该氮化铝涂层的择优取向为氧化铝晶体的首选晶面取向，该首选晶面以纤锌矿为主要晶体结构，表现出a轴方向生长或c轴方向生长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华南理工大学 一种含有不同择优取向的氮化铝涂层及制备方法
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