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一种TFT短线检测方法和系统 

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申请/专利权人:中导光电设备股份有限公司

摘要:本发明公开了一种TFT短线检测方法和系统,方法包括以下步骤:计算所有样本图像的灰度变化方向角度图;根据所有样本图像的灰度变化方向角度图,获取有效的坐标矫正区域;根据所有样本图像的灰度变化方向角度图,获取检测区域的角度模板图并创建掩膜图;根据所述有效的坐标矫正区域,使用所述掩膜图计算待检测图的灰度变化方向角度图;根据所述待检测图的灰度变化方向角度图与所述角度模板图的相似度标定异常区域。本发明可以有效的屏蔽到客户不关注的区域,重点检测客户关注区域,大大提高了检测速度;不受打光、产品膜色变化影响,并且适用于所有的此类短线产品。

主权项:1.一种TFT短线检测方法,其特征在于,包括以下步骤:计算所有样本图像的灰度变化方向角度图;根据所有样本图像的灰度变化方向角度图,获取有效的坐标矫正区域;根据所有样本图像的灰度变化方向角度图,获取检测区域的角度模板图并创建掩膜图;根据所述有效的坐标矫正区域,使用所述掩膜图计算待检测图的灰度变化方向角度图,包括:使用有效的坐标矫正区域做图像坐标矫正,得到检测图像与角度模板图的相对位置偏移量,进而得到实际检测区域;计算实际检测区域的灰度变化方向角度图:从实际检测区域起点开始,首先判断对应位置掩膜是否为255,若为255则计算该起点的灰度变化方向角度值,否则直接返回,直至所有的点全部检测完,得到检测图像的灰度变化方向角度图;根据所述待检测图的灰度变化方向角度图与所述角度模板图的相似度标定异常区域;所述计算所有样本图像的灰度变化方向角度图过程如下:所有样本图像是从多张与检测产品同款产品上获取的,与检测区域相同位置的图像;计算一个像素点在8邻域内灰度在x方向的变化量dx和在y方向的变化量dy;计算灰度在y方向的变化量与在x方向的变化量比值的反余弦,即为该像素点的灰度变化方向角度;将灰度变化方向角度归一化为8个方向,用一个0~255的数值表示该像素点的灰度变化方向角度值;将每张样本图像的所有像素点全部处理,生成所有样本图像对应的灰度变化方向角度图;所述根据所有样本图像的灰度变化方向角度图,获取有效的坐标矫正区域,过程如下:选取其中一张样本的灰度变化方向角度图,查找其中角度变化点、且连续点数大于预设值的区域坐标;按照角度变化率由大到小排序,选择前若干个角度变化最大的区域,并外扩至统一大小作为备选区域;使用其他样本的灰度变化方向角度图验证所述若干个的备选区域,如果同样存在预设量的角度变化点且连续点数大于预设值则保留该区域坐标,否则去除该区域坐标,得到多个坐标矫正区域。

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