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申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司

摘要：本申请提供了一种物理气相沉积设备。该物理气相沉积设备包括：壳体；盖体，能够盖合在壳体上以与壳体围成工作腔体；翻盖机构，与所述盖体相连接，所述翻盖机构用于驱动所述盖体相对所述壳体转动；第一定位结构，包括第一定位部及第二定位部，所述第一定位部设于所述壳体上，所述盖体上设有第二定位部，所述第一定位部与第二定位部中的一个为第一定位件，所述第一定位部与所述第二定位部中的另一个为第一定位孔，在所述盖体盖合在所述壳体上时，所述第一定位件收容于所述第一定位孔中，以提高物理气相沉积设备的对位精度。

主权项：1.一种物理气相沉积设备，其特征在于，所述物理气相沉积设备包括：壳体；盖体，能够盖合在所述壳体上以与所述壳体围成工作腔体；翻盖机构，与所述盖体相连接，所述翻盖机构用于驱动所述盖体相对所述壳体转动；第一定位结构，包括第一定位部及第二定位部，所述第一定位部设于所述壳体上，所述盖体上设有第二定位部，所述第一定位部与第二定位部中的一个为第一定位件，所述第一定位部与所述第二定位部中的另一个为第一定位孔，在所述盖体盖合在所述壳体上时，所述第一定位件收容于所述第一定位孔中；所述盖体盖合在所述壳体上时为所述物理气相沉积设备的合盖状态，所述盖体未盖合在所述壳体上时为所述物理气相沉积设备的开盖状态；所述物理气相沉积设备还包括直线运动机构，所述直线运动机构设置在所述翻盖机构上并与所述盖体连接，所述直线运动机构用于驱动所述盖体作直线运动；在所述物理气相沉积设备需从所述开盖状态转换至所述合盖状态的情况下，所述翻盖机构驱动所述盖体沿第一转向相对所述壳体转动使所述盖体的中心至预对准位置，所述直线运动机构驱动所述盖体朝向所述壳体直线运动直至所述盖体盖合在所述壳体上；当所述物理气相沉积设备需从所述合盖状态转换至所述开盖状态的情况下，所述直线运动机构驱动所述盖体朝向远离所述壳体的方向运动使所述盖体的中心运动至预对准位置后，所述翻盖机构驱动所述盖体及所述直线运动机构沿第二转向相对所述壳体转动，所述预对准位置与所述壳体的中心位于所述壳体的轴线上；所述盖体绕转动轴线相对所述壳体转动，所述第一定位件靠近所述转动轴线的一侧设有第一避让面；所述盖体盖合在所述壳体时，所述盖体与所述壳体沿第一方向层叠设置，所述物理气相沉积设备还包括第二定位结构，所述第二定位结构包括第三定位部与第四定位部，所述第三定位部与所述第四定位部中的一个为第二定位件，所述第三定位部与所述第四定位部中的另一个为第二定位孔，在所述盖体盖合在所述壳体上时，所述第二定位件收容于所述第二定位孔中；在垂直所述第一方向的第二方向上，所述第一定位部位于所述壳体的更为远离所述转动轴线的一端；在所述第二方向上，所述第三定位部位于所述壳体的更为靠近所述转动轴线的一端；所述第二定位件上设有第二避让面；所述翻盖机构包括连接设置的翻盖驱动件与旋转支撑架，所述翻盖驱动件设置在所述壳体上，所述旋转支撑架的一端与所述翻盖驱动件连接，所述翻盖驱动件用于驱动所述旋转支撑架转动，使所述盖体相对所述壳体转动，所述旋转支撑架的另一端与所述盖体连接，所述直线运动驱动机构设置在所述旋转支撑架上。

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