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一种氩气回收系统 

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申请/专利权人:杭州福斯达深冷装备股份有限公司

摘要:本实用新型公开了一种氩气回收系统,一种氩气回收系统,包括液氩储罐,其特征在于,还包括安装在液氩储罐顶部的氩气回收装置和用于对液氩进行纯度检测的纯度检测结构。本实用新型通过氩气回收装置的设置,对汽化的氩气进行回收至液氩储罐内进行再利用,减少了氩气资源的浪费,降低了液氩储罐的安全隐患,且通过纯度检测结构的设置,确保了回收后的液氩纯度,避免重新液化后的液氩纯度不足而影响液氩储罐内的液氩纯度,避免造成更多的氩资源浪费。

主权项:1.一种氩气回收系统,包括液氩储罐(1),其特征在于,还包括安装在液氩储罐(1)顶部的氩气回收装置(2)和用于对液氩进行纯度检测的纯度检测结构(3);所述氩气回收装置(2)包括氩气汽化器(21)、氩气缓冲罐(22)、氩气压缩机(23)和氩气换热器(24);所述氩气汽化器(21)用于将液氩储罐(1)中蒸发汽化的氩气进行升温;所述氩气缓冲罐(22)用于收集汽化后的氩气气体;所述氩气压缩机(23)用于将缓冲罐中的氩气压缩成高压氩气;所述氩气换热器(24)用于将高压氩气冷却成液氩。

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