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申请/专利权人：安徽华气气体科技有限公司
摘要：本发明公开一种单晶硅制备中无氢氩气的回收装置，包括压缩除油机构、燃烧吸附机构以及低温精馏机构，压缩除油机构包括一侧具有进气管且另一侧具有出气管的罐体、安装在罐体上且工作时对罐体内部的气体进行压缩的压缩组件、位于罐体内且工作时对罐体内壁进行刮污的刮污组件以及安装在罐体上且与刮污组件传动连接的通断组件；燃烧吸附机构输入端与出气管连通，燃烧吸附机构工作时对通入的气体进行燃烧且输出端对燃烧反应后产生的二氧化碳和水进行吸附；低温精馏机构与燃烧吸附机构的输出端连通，且工作时对通入的气体进行低温精馏，解决了需要通入高危气体且压缩除油时产生的油污无法及时被清理的问题。
主权项：1.一种单晶硅制备中无氢氩气的回收装置，其特征在于，包括：压缩除油机构100，其包括一侧具有进气管110a且另一侧具有出气管110b的罐体110、安装在所述罐体110上且工作时对所述罐体110内部的气体进行压缩的压缩组件120、位于所述罐体110内且工作时对所述罐体110内壁进行刮污的刮污组件130以及安装在所述罐体110上且与所述刮污组件130传动连接的通断组件140，其中，所述压缩组件120开始工作对所述罐体110内部气体进行压缩时，自动驱动所述刮污组件130进行工作，所述刮污组件130工作时，自动驱动所述通断组件140对所述出气管110b进行密封，所述压缩组件120停止工作，带动所述刮污组件130停止工作时，自动带动所述通断组件140将所述出气管110b打开；燃烧吸附机构200，其输入端与所述出气管110b连通，所述燃烧吸附机构200工作时对通入的气体进行燃烧且输出端对燃烧反应后产生的二氧化碳和水进行吸附；低温精馏机构300，其与所述燃烧吸附机构200的输出端连通，且工作时对通入的气体进行低温精馏。
全文数据：
权利要求：
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