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申请/专利权人：戈芯半导体(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种外延石英钟罩的密封结构，包括上石英钟罩、下石英钟罩和金属基座，金属基座设置在上石英钟罩与下石英钟罩边缘之间，在上石英钟罩与下石英钟罩之间形成反应腔室，其特征在于，在金属基座与上石英钟罩之间设有防泄漏密封圈，在金属基座与下石英钟罩之间设有也设有防泄漏密封圈，防泄漏密封圈远离反应腔室的一侧连接有气体检测机构。本实用新型在金属基座与上下石英钟罩之间分别设置防泄漏密封圈，并且防泄漏密封圈连接气体检测机构，气体检测机构能够及时检测到反应腔室是否发生泄漏，避免发生有害气体泄漏的生产事故。
主权项：1.一种外延石英钟罩的密封结构，包括上石英钟罩、下石英钟罩和金属基座，金属基座设置在上石英钟罩与下石英钟罩边缘之间，在上石英钟罩与下石英钟罩之间形成反应腔室，其特征在于，在金属基座与上石英钟罩之间设有防泄漏密封圈，在金属基座与下石英钟罩之间设有也设有防泄漏密封圈，防泄漏密封圈远离反应腔室的一侧连接有气体检测机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 戈芯半导体(苏州)有限公司 一种外延石英钟罩的密封结构
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