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申请/专利权人：华海清科股份有限公司
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统，所述修整装置包括摆臂、基座和修整头，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整头通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整头包括法兰板、球铰板和柔性膜，所述法兰板固定于所述导向轴，所述球铰板铰接于导向轴的下端，所述柔性膜连接于法兰板与球铰板之间，以形成调压腔室；所述调压腔室能够将球铰板下方的修整盘抵压于抛光垫表面，以施加修整载荷。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的修整装置，其特征在于，包括摆臂、基座和修整头，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整头通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整头包括法兰板、球铰板和柔性膜，所述法兰板固定于所述导向轴，所述球铰板铰接于导向轴的下端，所述柔性膜连接于法兰板与球铰板之间，以形成调压腔室；所述调压腔室能够将球铰板下方的修整盘抵压于抛光垫表面，以施加修整载荷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统
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